2. Дата установки: 2021

Основные характеристики: Система "S NEOX" позволяет производить измерения с помощью методов конфокальной микроскопии, интерферометрии и измерения с помощью вариации фокуса, а также измерения с толстой и тонкой плёнкой. Датчики прибора позволяют производить такие виды измерений как, стандартная микроскопия, конфокальная микроскопия, конфокальное профилирование, интерферометрическое профилирование, профилирование при помощи изменения фокуса, а также измерения тонкой пленки с высоким разрешением.

Допустимые размеры образцов: пластины до 100 мм.

3. Месторасположение прибора: АК, к 203.

4. Балансовая стоимость: 16000000 РУБ.

 

5. Технические характеристики:

Технология

 

КОНФОКАЛЬНАЯ ПРОФИЛОМЕТРИЯ

 

Конфокальные профилометры были разработаны для измерений шероховатости как гладких, так и очень шероховатых поверхностей. Конфокальное профилирование обеспечивает самое высокое разрешение по плоскости, которое можно достичь при использовании оптического профилометра. Пространственная выборка может быть уменьшена до 0,10 мкм, что идеально подходит для измерений малых объектов. Для измерения гладких поверхностей с уклонами более 70° (крутизна склонов шероховатых поверхностей до 86°) используются объективы с высокой числовой апертурой (0,95) и увеличением (150Х).

 

ИНТЕРФЕРОМЕТРИЯ

 

Интерферометры фазового сдвига были разработаны для измерения шероховатости очень гладких и равномерных поверхностей с разрешением менее одного нанометра. Благодаря применению метода профилирования с фазовым сдвигом (PSI) обеспечивается разрешение по вертикали менее одного нанометра для всех числовых апертур (ЧА). Для измерения больших полей обзора с тем же разрешением по высоте можно использовать объективы с очень маленьким увеличением (2,5Х).

 

Метод интерферометрия с когерентным сканированием (также известный как интерферометрия с вертикальным сканированием) использует белый свет для сканирования профиля гладких поверхностей и умеренно шероховатых поверхностей. Благодаря применению данного метода обеспечивается разрешение по вертикали менее одного нанометра для всех числовых апертур (ЧА). Алгоритмы, применяемые при использовании данного метода позволяют использовать все доступные увеличения для профилирования объектов с одинаковым разрешением по высоте.

 

Ai ИЗМЕНЕНИЕ ФОКУСА

Active Illumination Focus Variation - оптическая технология, предназначенная для измерения формы больших шероховатых образцов. Эта технология основана на богатом опыте Sensofar в области комбинированных конфокальных и интерферометрических измерений и специально разработана для дополнения конфокальных измерений при низком увеличении. Она была усовершенствована с использованием активной освещенности, для того чтобы получить более надежное положение фокуса даже на оптически гладкой поверхности. Преимущества техники включают в себя измерение поверхностей с крутыми уклонами (до 86°), высочайшую скорость сканирования (мм/с) и широкий диапазон измерений по оси Z.

 

ТОНКАЯ ПЛЕНКА

Быстрый, точный и неразрушающий метод измерения толщины тонких оптически прозрачных пленок. Не требует подготовки образца. Система детектирует спектр отражения от образца в видимом диапазоне и сравнивает его с расчетным спектром, варьируя толщину слоя до тех пор, пока не будет найдено лучшее соответствие. Прозрачные пленки толщиной от 50 нм до 1,5 мкм могут быть измерены за менее чем одну секунду. Диаметр пятна измерения зависит от объектива и имеет значение от 0,5 мкм до 40 мкм.

 

 

В системе S nеох используется матрица высокого разрешения 2448x2048 пикселей и дисплей высокого разрешения 3840x2160. Изображения, полученные при помощи S пеох, не нуждаются в масштабировании, поэтому они всегда выглядят резкими, яркими и реалистичными на экране.