C 2001 года в ЦКП Наноструктуры активно ведется работа по совершенствованию метрологической поддержки исследований и разработок.
В ЦКП используются сертифицированное оборудование и аттестованные методики прецизионных измерений.
ЦКП «Наноструктуры» входит в состав инфраструктуры центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии в Сибирском Федеральном округе, обеспечивая измерительные потребности предприятий в регионе.
Диагностический центр ИФП СО РАН является членом технического комитета по стандартизации (ТК 441 «Нанотехнологии») при Федеральном агентстве технического регулирования и метрологии, имеет аттестат признания компетентности ГК «РОСНАНО» в системе добровольной сертификации «Наносертифика», созданой в целях обеспечения необходимого качества и безопасности создаваемых наноматериалов, нанотехнологий и продукции с использованием наноматериалов.
Одним из прорывных результатов последнего времени является разработка, совместно с СНИИМ, комплекта высокоточных мер вертикальных размеров в диапазоне размеров 0,31–31 нм с погрешностью во всем интервале измерений менее 0,05 нм. Разработанный комплект высокоточных мер вертикальных размеров «СТЕПП-ИФП-1» после проведения государственных испытаний внесен в государственный реестр средств измерений, что позволяет обеспечить единство измерений в недоступном ранее нанодиапазоне линейных размеров. Необходимость создания таких мер обусловлена тем, что методы сканирующей электронной и зондовой микроскопии являются базовыми для разработки новых нанотехнологий и проведения исследований и измерений объектов с размерами, приближающимися к размерам атома, и требуют особо тщательной калибровки оборудования по стандартным образцам с предельно малыми размерными характеристиками, гарантирующими малую погрешность измерений.
ЦКП изготовливает малые серии тест-объектов на основе ступенчатых поверхностей кремния для калибровки нанометровых размеров для фирмы NT-MDT (В.А.Быков, г.Зеленоград).
Sertif_meth
