Приборный парк ЦКП "Наноструктуры" основан на оборудовании, разработанном и изготовленном фирмами, являющимися признанными мировыми лидерами в области вакуумного приборостроения, имеет 100% сертификацию на соответствие. Общее количество помещений ЦКП – 19, общая площадь ~610 м2. Прецизионное оборудование установлено в специальных "чистых комнатах" (10 комнат) термостатированного корпуса ИФП СО РАН, удовлетворяющие требованиям ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025-2000 "Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий", нормативным требованиям для проведения аналитических работ, включая требования ведущих зарубежных фирм, поставляющих аналитическое оборудование. Данные комнаты оснащены системой принудительного воздушного кондиционирования с кратностью воздухообмена 10, системой вакуумных магистралей, газовых трубопроводов (азот, аргон, гелий и воздух), централизованной подачей дистиллированной воды и высокостабилизированного электроснабжения, а также системами высокоэффективной химической вытяжки для работы с вредными химикатами. Кроме того, ЦКП имеет доступ к информационным базам данных через телекоммуникационные сети.

Перечень оборудования Приборного парка ЦКП

1	Аналитический высокоразрешающий электронный микроскоп с корректором аберраций объектива и приставками EDX и EELS
2	Высокоразрешающий электронный микроскоп
3	Сканирующая зондовая нанолаборатория
4	Микроскоп электронный растровый с литографической приставкой
5	Микроскоп электронный сканирующий
6	Комплекс пробоподготовки для микроскопии
7	Установка фокусированных ионных пучков CROSS BEAM
8	Комплекс сверхвысоковакуумной отражательной электронной микроскопии -  Уникальная научная установка - Многофункциональный аналитический субангстремный сверхвысоковакуумный комплекс "МАССК-ИФП" .
9	Сверхвысоковакуумный туннельный сканирующий микроскоп
10	Генератор изображения лазерный многоканальный ЭМ-5189-01
11	Вакуумная установка для напыления проводящих и диэлектрических слоев
12	Многофункциональный комплекс плазмохимической обработки для создания сложных структур и устройств на их основе
13	Оптический микроскоп
14	Модернизированный микроинтерферометр измерительный
15	Сканирующий электронный микроскоп HITACHI SU8220
16	Сверхвысоковакуумная установка Compact-21T
17	Лазерный комплекс для компарирования размеров в микрометровом и нанометровом диапазонах
18	Система ионно-лучевой обработки IM150, Oxford Applied Research, UK
19	Оптический прямой микроскоп Olympus BX35
20	Раман спектрометр Horiba XploRa Plus cо сканирующим зондовым микроскопом
21	Вычислительный кластер ИФП СО РАН
22	Установка атомно-слоевого осаждения металлов, полупроводников и диэлектриков
23	Установки рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) ARPES FlexPS (модульная концепция) для анализа химического и зарядового состояния атомов на поверхности
24	Профилометр "S NEOX"
25	Установка плазмохимического травления