Приборный парк ЦКП "Наноструктуры" основан на оборудовании, разработанном и изготовленном фирмами, являющимися признанными мировыми лидерами в области вакуумного приборостроения, имеет 100% сертификацию на соответствие. Общее количество помещений ЦКП – 19, общая площадь ~610 м2. Прецизионное оборудование установлено в специальных "чистых комнатах" (10 комнат) термостатированного корпуса ИФП СО РАН, удовлетворяющие требованиям ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025-2000 "Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий", нормативным требованиям для проведения аналитических работ, включая требования ведущих зарубежных фирм, поставляющих аналитическое оборудование. Данные комнаты оснащены системой принудительного воздушного кондиционирования с кратностью воздухообмена 10, системой вакуумных магистралей, газовых трубопроводов (азот, аргон, гелий и воздух), централизованной подачей дистиллированной воды и высокостабилизированного электроснабжения, а также системами высокоэффективной химической вытяжки для работы с вредными химикатами. Кроме того, ЦКП имеет доступ к информационным базам данных через телекоммуникационные сети.
Перечень оборудования Приборного парка ЦКП
Технология КОНФОКАЛЬНАЯ ПРОФИЛОМЕТРИЯ Конфокальные профилометры были разработаны для измерений шероховатости как гладких, так и очень шероховатых поверхностей. Конфокальное профилирование обеспечивает самое высокое разрешение по плоскости, которое можно достичь при использовании оптического профилометра. Пространственная выборка может быть уменьшена до 0,10 мкм, что идеально подходит для измерений малых объектов. Для измерения гладких поверхностей с уклонами более 70° (крутизна склонов шероховатых поверхностей до 86°) используются объективы с высокой числовой апертурой (0,95) и увеличением (150Х). ИНТЕРФЕРОМЕТРИЯ PSI Интерферометры фазового сдвига были разработаны для измерения шероховатости очень гладких и равномерных поверхностей с разрешением менее одного нанометра. Благодаря применению метода профилирования с фазовым сдвигом (PSI) обеспечивается разрешение по вертикали менее одного нанометра для всех числовых апертур (ЧА). Для измерения больших полей обзора с тем же разрешением по высоте можно использовать объективы с очень маленьким увеличением (2,5Х). CSI Метод интерферометрия с когерентным сканированием (также известный как интерферометрия с вертикальным сканированием) использует белый свет для сканирования профиля гладких поверхностей и умеренно шероховатых поверхностей. Благодаря применению данного метода обеспечивается разрешение по вертикали менее одного нанометра для всех числовых апертур (ЧА). Алгоритмы, применяемые при использовании данного метода позволяют использовать все доступные увеличения для профилирования объектов с одинаковым разрешением по высоте. Ai ИЗМЕНЕНИЕ ФОКУСА Active Illumination Focus Variation - оптическая технология, предназначенная для измерения формы больших шероховатых образцов. Эта технология основана на богатом опыте Sensofar в области комбинированных конфокальных и интерферометрических измерений и специально разработана для дополнения конфокальных измерений при низком увеличении. Она была усовершенствована с использованием активной освещенности, для того чтобы получить более надежное положение фокуса даже на оптически гладкой поверхности. Преимущества техники включают в себя измерение поверхностей с крутыми уклонами (до 86°), высочайшую скорость сканирования (мм/с) и широкий диапазон измерений по оси Z. ТОНКАЯ ПЛЕНКА Быстрый, точный и неразрушающий метод измерения толщины тонких оптически прозрачных пленок. Не требует подготовки образца. Система детектирует спектр отражения от образца в видимом диапазоне и сравнивает его с расчетным спектром, варьируя толщину слоя до тех пор, пока не будет найдено лучшее соответствие. Прозрачные пленки толщиной от 50 нм до 1,5 мкм могут быть измерены за менее чем одну секунду. Диаметр пятна измерения зависит от объектива и имеет значение от 0,5 мкм до 40 мкм. Функциональные характеристики ПОТРЯСАЮЩЕЕ КАЧЕСТВО ИЗОБРАЖЕНИЯ В системе S nеох используется матрица высокого разрешения 2448x2048 пикселей и дисплей высокого разрешения 3840x2160. Изображения, полученные при помощи S пеох, не нуждаются в масштабировании, поэтому они всегда выглядят резкими, яркими и реалистичными на экране. СВЕТОДИОДНЫЕ ИСТОЧНИКИ СВЕТА РАЗНОЙ ДЛИНЫ ВОЛНЫ Для оптимизации источника света с учетом сферы применения внутри оптического ядра системы S пеох мы установили четыре светодиодных источника света: красный (632 нм), зеленый (532 нм), синий (460 нм) и белый (580 нм). Если вам нужно более высокое разрешение по плоскости, необходимо использовать более короткую длину волны. Большая длина волны обеспечивает большую оптическую когерентность, до 20 мкм, позволяя использовать интерферометрию фазового сдвига на больших гладких поверхностях. ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНАЯ ПЕРЕДАЧА ЦВЕТА Красный, зеленый и синий светодиоды последовательно освещают исследуемую поверхность. Три полученных монохромных изображения объединяются в одно цветное изображение высокого разрешения. В результате использования данного метода достигается высокая точность воспроизведения цвета и насыщенности, а также информация о реальном цвете от пикселя к пикселю. В системе S пеох интерполяция цвета между пикселями не требуется.
