Состав отделения:
- Руководитель - н.с., Насимов Д.А., к.108, т.(383)3309082 Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
- с.н.с., к.ф.-м.н. Родякина Е.Е.
- м.н.с. Уткин Д.Е.
- инж.-техн. Шалыгина Н.А.
Основное направление активности - наноструктурирование на поверхности металлов, полупроводников и диэлектриков методом электронно лучевой литографии.
Отделение предоставляет следующие услуги:
- Cоздание структур пониженной размерности для наноэлектроники и наномеханики на основе комплекса литографических методов включающих электронную, ионно-лучевую и зондовую литографию.
Для проведения экспериментов в отделении разработаны и внедрены следующие методики:
- Методика проведения литографии, включая изготовление фотошаблонов, субмикронного диапазона с использованием электронно-лучевой литографии.
- Методика наноструктурирования, основанная на электронной литографии сфокусированным электронным пучком на базе сканирующего электронного микроскопа.
Услуги предоставляются отделением с использованием следующего оборудования:
