Состав отделения:
- Руководитель - вед. инж.-технолог В.К. Сандырев, к.351, т.(383)3307886, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
- вед. инж.-прогр. К.В. Грачёв
- инж.-технолог М.М. Качанова
- инж.-технолог Т.А. Живодкова
Основное направление активности - создание топологических структур размером более 0,6 мкм на полупроводниковых пластинах и изготовления промежуточных шаблонов при производстве изделий электронной техники методом растровой оптической литографии.
Отделение предоставляет следующие услуги:
- Оптическая литография для непосредственного формирования топологических структур на полупроводниковых пластинах и изготовления промежуточных шаблонов при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.
Для проведения экспериментов в отделении разработаны и внедрены следующие методики:
- Методика проведения растровой оптической литографии.
- Методика нанесения фоторезиста на различные полупроводниковые пластины.
- Методика последовательного совмещения слоев фотошаблонов после проявли резиста, травления пластины и нанесения металлов.
- Методика взрывного нанесения металла через маску в резисте.
Услуги предоставляются отделением с использованием следующего оборудования:
