Химический участок ЦКП создан для пробоподготовки образцов перед исследованиями или модификации образцов методами, используемыми в процессе предоставления Услуг ЦКП.
Химический участок включает в себя следующее оборудование:
- Химический бокс с вытяжкой, электрической плиткой и подведенными трубами с деионизованной и дистилированной водой и сжатым очишенным воздухом.
- Установка плазменной очистки поверхности от органических загрязнений и сушки образцов: Plazma-PREEN II-973, Plasmatic Systems Inc.
- Установка для напыления металлов и углерода: Q150T ES, Quorum Technologies.
- Ванна ультрозвуковая c нагревом и таймером.
- Химический бокс с вытяжкой для нанесения фото- и электронного резиста.
- Плитка электрическая программируемая для сушки образцов: Presition Hot Plate Mod. 1000-1, Electronic Micro Systems.
- Шкаф сушильный: Venticell, BMT.
- Центрифуга для нанесения электронного резиста: SPIN-150 v.3, SPS-Europe.
- Холодильное оборудование для хранения хим. реактивов.
Местонахождение в ЦКП — Отделение нанолитографии и Отделение пробоподготовки, к. 108.
Год модернизации — 2010.
Балансовая стоимость — 2900 тыс. руб.
Нормативная стоимость часа работы с учетом амортизации — 1400 руб.
Нормативное (среднее) количество обработанных образцов в час — 1.