Ионная литография

Состав отделения:

Руководитель - Вед. инженер-технолог Ю.А. Живодков , к.107, т.(383)3309082, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
аспирант А.С. Петров

Основное направление активности - структурирование поверхностей металлов и полупроводников остросфокусированным ионным пучком.

Отделение предоставляет следующие услуги:

Cоздание структур пониженной размерности для наноэлектроники и наномеханики на основе комплекса литографических методов включающих электронную, ионно-лучевую и зондовую литографию.

Для проведения экспериментов в отделении разработаны и внедрены следующие методики:

Методика структурирования поверхностей различных материалов под воздействием ионного пучка.
Методика формирования ионным пучком из образцов ламелей (тонких срезов) для исследования методом просвечивающей электронной микроскопии.

Услуги предоставляются отделением с использованием следующего оборудования: