Уникальная научная установка - Многофункциональный аналитический субангстремный сверхвысоковакуумный комплекс "МАССК-ИФП" .
Сайт УНУ: isp.nsc.ru/massk/
Метод отражательной электронной микроскопии (ОЭМ), не имеющий аналогов в России, обладает высокой чувствительностью к элементам структуры поверхности и обеспечивает пространственное разрешение, достаточное для визуализации индивидуальных моноатомных ступеней (высотой 0,31 нм на Si(111) и 0,14 нм на Si(001)), двумерных островков и сверхструктурных доменов при высокой температуре (например, 1300°С). Оборудование для СВВ ОЭМ не выпускается и, согласно литературным обзорам, метод СВВ ОЭМ в наиболее полном объеме реализован в Токийском Институте Технологий (Япония) и в Институте физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН. Система СВВ ОЭМ включает устройство дифференциальной криогенной откачки, обеспечивающее сверхвысокий вакуум в районе образца и позволяет нагрев и охлаждение образцов от температуры жидкого азота до температуры плавления; имеется возможность проводить осаждение на исследуемую поверхность атомов различных элементов из молекулярных пучков.

- Марка — СВВ-ОЭМ на базе ПЭМ JEM-7A (JEOL, Япония).
- Производитель/страна — ИФП СО РАН, Россия.
- Технические характеристики:
- СВВ условия вокруг образца (Рост<10-9 Торр).
- Ускоряющее напряжение до 150 кВ.
- Режим дифракции отраженных электронов.
- Проведение in situ экспериментов при высоких температурах.
- Осаждение различных элементов из молекулярных пучков.
- Резистивный нагрев (Si(111) до 1400°C).
- Возможность быстрого охлаждения образца со скоростью до 400°C/сек.
- Местонахождение в ЦКП — Отделение отражательной электронной микроскопии, к. 106.
- Год модернизации — 2011.
- Балансовая стоимость — 35 тыс. руб.
- Предоставляемые услуги:
- Наноструктурирование нелитографическими методами посредством in situ управления процессами самоорганизации структуры поверхности кристаллов в сверхвысоковакууумных условиях.
- Проведение измерений линейных размеров элементов структур микро- и нанорельефа поверхности твердотельных материалов и биологических объектов в нанометровом диапазоне.