Эффективным и информативным методом структурного анализа поверхности является сканирующая электронная микроскопия (СЭМ). Этот метод, не являясь разрушающим методом, позволяет оперативно проводить количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур с разрешением до одного нанометра. Применение источника полевой эмиссий для формирования диагностического пучка, позволяет сканирующей электронной микроскопии визуализировать неоднородности рельефа в пределах одного монослоя, проводить анализ химического состава поверхности с помощью встроенного блока энерго-дисперсионного анализа, определять электрическую активность дефектов по методике наведенного тока и т.д.
- Марка — LEO-1430.
- Производитель/страна — Zeiss, Германия.
- Технические характеристики:
- Пространственное разрешение — 3,5 нм.
- Угол наклона образца 0° - 90°.
- Характеристики электронной пушки:
- Ускоряющее напряжение — 200 - 30000 В.
- Ток пучка — 1 нА - 1 мкА.
- Время жизни катода — более 2000 часов.
- Увеличение — 15х - 300кх.
- Вакуумная система:
- Давление в рабочей камере < 2×10-6 Торр.
- Давление в пушке < 1×10-9 Торр.
- Местонахождение в ЦКП —
Отделение cканирующей электронной микроскопии, к.107. - Год модернизации — 2013.
- Балансовая стоимость — 7841 тыс. руб.
- Предоставляемые услуги:
- Проведение измерений линейных размеров элементов структур микро- и нанорельефа поверхности твердотельных материалов и биологических объектов в нанометровом диапазоне.
- Исследование морфологии и структуры поверхности твердотельных структур и оперативный контроль атомарных поверхностей методами сканирующей туннельной, атомно-силовой и электронной микроскопии.
- Используемые методики:
- Методика количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур с применением сканирующего электронного микроскопа.
