Лазерный комплекс предназначен для обеспечения различных сканирующих методов сравнительного анализа свойств исследуемых объектов в микро- и наномасштабе. Он состоит из лазерного блока высокого разрешения: микроскоп Axio Imager (Carl Zeiss, Германия) и сенсорного блока высокого разрешения: атомно-силовой микроскоп MultiMode8 (Bruker, США).


  1. Технические характеристики:
    • Лазерный блок высокого разрешения: микроскоп Axio Imager;
      а) сканирующее разрешение от 4×1 до 2048×2048 пикселей;
      б) скорость сканирования – 5 с-1 при разрешении 512×512 пикселей;
      в) сканирующее увеличение от 0,5 х до 40 х с шагом 0,1;
      г) свободное вращение скана на 360° с шагом 1°.
    • Сенсорный блок высокого разрешения: Атомно-силовой микроскоп MultiMode8;
      а) максимальная площадь сканирования - 110 мкм×110 мкм;
      б) разрешение по высоте - до 0,05 нм;
      в) режимы:
      - измерения профиля
      - измерения силы
      - измерения контактной разности потенциала
      - измерения магнитных и электрических сил.
  2. Местонахождение в ЦКПОтделение атомно-силовой микроскопии, к. 107.
  3. Год модернизации — 2015.
  4. Балансовая стоимость — 44.000 тыс. руб.
  5. Предоставляемые услуги:
    • Обеспечение измерения линейных размеров нанообъектов методом компарирования оптическим и зондовым методами.
    • Проведение измерений линейных размеров элементов структур микро- и нанорельефа поверхности твердотельных материалов и биологических объектов в нанометровом диапазоне.
    • Исследование морфологии и структуры поверхности твердотельных структур и оперативный контроль атомарных поверхностей методами сканирующей туннельной, атомно-силовой и электронной микроскопии.
    • Cоздание структур пониженной размерности для наноэлектроники и наномеханики на основе комплекса литографических методов включающих электронную, ионно-лучевую и зондовую литографию.