План работы оборудования Центра формируется на основе плана научной работы и поступивших заявок.

 

 Планируемая и текущая загрузка оборудования ЦКП на 2019 год в процентах

Оборудование \ Месяц

01

02

03

 04

05

06

07

 08

 09

 10

11

 12

1. ВРЭМ, Тitan 80-300 (FEI) 95  95 95 95  80  80 80 80 80 80 80 80
2. СЭМ эл.литография, Raith150 (Raith)  90  90 95 90  80 70 70 70 80  80 80  80
3. СЭМ, LEO-1430 (Zeiss) 85  90 90  90 90 80 80 80  80 80 80 80
4. ФИП, Cross Beam 1540XB (Zeiss) 90  85 90 95  90 80 80 80 80 80  80 80
5. АСМ, IntegraAura (НТ-МДТ)  90 95 95  95 90  90  90  90  80  80 80 80
6. Напыление, SunPla 600 ТЕМ (SunPlaEng)  90  90 90 90 90  80  70 70 70 70 70  70
7. ПХТ, Plasma Lab 90 90  90  80 80 80 70 70 70 70  70 70
8. Опт. м-п, Axio Imager z1m (Zeiss) 90 95  95 95 90 90 90 90 90 90 90 90
9. Микроинтерферометр, МНП-1  90 90 90  90 80 80 80 80 80 70 70 70
10. Пробоподготовка, PIPS (Gatan)  95  95 95 95 90 90  90 90 90  90 90  90
11. СТМ, VT-STM (OMICRON)  95 95 95 95 90 90  80  90  90 90 90 90
12. ПЭМ, JEM-4000EX (JEOL)  95 95 95 95 90 90  90  90 90  90  90  90
13. СВВ-ОЭМ - УНУ МАССК-ИФП 95 95  95  95  95 95  95 90 90 95 95  95
14. СВВ установка, Compact-21T (Riber) 95 95  95  95 95 95 95 90 90 90 90  90
15. СЭМ, SU8220 (Hitachi) 95 95 95 95 90 90 90  90  90  90 90  90
16. Опт. литография, ЭМ-5189-01  95 95 95 95 80  90  90  90 80  80 80 80
17. Лазерный комплекс, MultiMode8 (Bruker) 95 95 95  95  90 90 90 90 90  90 90 90
18. Ионно-лучевая обработка, IM150 (Oxford Applied Research) 80 80 80 80 70  70 70  70  70  70 70 70
19. Опт. м-п, BX53 (Olympus)  95 95 95 95 90 90  90  90 90 90 90 90