План работы и загрузка оборудования ЦКП "Наноструктуры"

План работы оборудования Центра формируется на основе плана научной работы и поступивших заявок.

 

 Планируемая и текущая загрузка оборудования ЦКП на 2025 год в процентах

<
Оборудование \ Месяц

01

02

03

 04

05

06

07

 08

 09

 10

11

 12
1. ВРЭМ, Тitan 80-300 (FEI) 95  95 95 95  80  80 0 80 80 80 80 80
2. СЭМ эл.литография, Raith150 (Raith)  90  90 95 90  80 70 0 70 80  80 80  80
3. СЭМ, LEO-1430 (Zeiss) 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
4. ФИП, Cross Beam 1540XB (Zeiss) 90  85 90 95  90 80 0 80 80 80  80 80
5. АСМ, IntegraAura (НТ-МДТ)  90 95 95  95 90  90  90  90  80  80 80 80
6. Напыление, SunPla 600 ТЕМ (SunPlaEng)  90  90 90 90 90  80  0 70 70 70 70  70
7. ПХТ, Plasma Lab 90 90  90  80 80 80 0 70 70 70  70 70
8. Опт. м-п, Axio Imager z1m (Zeiss) 90 95  95 95 90 90 90 90 90 90 90 90
9. Микроинтерферометр, МНП-1  90 90 90  90 80 80 0 80 80 70 70 70
10. Пробоподготовка, PIPS (Gatan)  95  95 95 95 90 90  0 90 90  90 90  90
11. СТМ, VT-STM (OMICRON)  95 95 95 95 90 90  80  90  90 90 90 90
12. ПЭМ, JEM-4000EX (JEOL) 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
13. СВВ-ОЭМ - УНУ МАССК-ИФП 95 95  95  95  95 95  0 90 90 95 95  95
14. СВВ установка, Compact-21T (Riber) 95 95  95  95 95 95 0 90 90 90 90  90
15. СЭМ, SU8220 (Hitachi) 95 95 95 95 90 90 90  90  90  90 90  90
16. Опт. литография, ЭМ-5189-01  95 95 95 95 80  90  0  90 80  80 80 80
17. Лазерный комплекс, MultiMode8 (Bruker) 95 95 95  95  90 90 90 90 90  90 90 90
18. Ионно-лучевая обработка, IM150 (Oxford Applied Research) 0 0 0 0 0  0 0  70  70  70 70 70
19. Опт. м-п, BX53 (Olympus)  95 95 95 95 90 90  90  90 90 90 90 90
20. Раман спектрометр Horiba XploRa Plus cо сканирующим зондовым микроскопом 80 85 85 85 90 70 0 70 80 90 95 80
21. Вычислительный кластер ИФП СО РАН 80 85 85 85 90 70 70 70 80 90 95 80
22. Установка атомно-слоевого осаждения металлов, полупроводников и диэлектриков 80 85 85 85 90 70 0 70 80 90 95 80
23. Установки рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) ARPES FlexPS (модульная концепция) для анализа химического и зарядового состояния атомов на поверхности 80 85 85 85 90 70 0 70 80 90 95 80
24. Профилометр "S NEOX" 80 85 85 85 90 70 70 70 80 90 95 80
25. Установка плазмохимического травления 95 95 95 95 95 95 0 95 95 95 95 95