План работы оборудования Центра формируется на основе плана научной работы и поступивших заявок.
Планируемая и текущая загрузка оборудования ЦКП на 2021 год в процентах
Оборудование \ Месяц |
01 |
02 |
03 |
04 |
05 |
06 |
07 |
08 |
09 |
10 |
11 |
12 |
1. ВРЭМ, Тitan 80-300 (FEI) | 95 | 95 | 95 | 95 | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 |
2. СЭМ эл.литография, Raith150 (Raith) | 90 | 90 | 95 | 90 | 80 | 70 | 70 | 70 | 80 | 80 | 80 | 80 |
3. СЭМ, LEO-1430 (Zeiss) | 85 | 90 | 90 | 90 | 90 | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 |
4. ФИП, Cross Beam 1540XB (Zeiss) | 90 | 85 | 90 | 95 | 90 | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 |
5. АСМ, IntegraAura (НТ-МДТ) | 90 | 95 | 95 | 95 | 90 | 90 | 90 | 90 | 80 | 80 | 80 | 80 |
6. Напыление, SunPla 600 ТЕМ (SunPlaEng) | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 80 | 70 | 70 | 70 | 70 | 70 | 70 |
7. ПХТ, Plasma Lab | 90 | 90 | 90 | 80 | 80 | 80 | 70 | 70 | 70 | 70 | 70 | 70 |
8. Опт. м-п, Axio Imager z1m (Zeiss) | 90 | 95 | 95 | 95 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 |
9. Микроинтерферометр, МНП-1 | 90 | 90 | 90 | 90 | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 | 70 | 70 | 70 |
10. Пробоподготовка, PIPS (Gatan) | 95 | 95 | 95 | 95 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 |
11. СТМ, VT-STM (OMICRON) | 95 | 95 | 95 | 95 | 90 | 90 | 80 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 |
12. ПЭМ, JEM-4000EX (JEOL) | 95 | 95 | 95 | 95 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 |
13. СВВ-ОЭМ - УНУ МАССК-ИФП | 95 | 95 | 95 | 95 | 95 | 95 | 95 | 90 | 90 | 95 | 95 | 95 |
14. СВВ установка, Compact-21T (Riber) | 95 | 95 | 95 | 95 | 95 | 95 | 95 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 |
15. СЭМ, SU8220 (Hitachi) | 95 | 95 | 95 | 95 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 |
16. Опт. литография, ЭМ-5189-01 | 95 | 95 | 95 | 95 | 80 | 90 | 90 | 90 | 80 | 80 | 80 | 80 |
17. Лазерный комплекс, MultiMode8 (Bruker) | 95 | 95 | 95 | 95 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 |
18. Ионно-лучевая обработка, IM150 (Oxford Applied Research) | 80 | 80 | 80 | 80 | 70 | 70 | 70 | 70 | 70 | 70 | 70 | 70 |
19. Опт. м-п, BX53 (Olympus) | 95 | 95 | 95 | 95 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 |
20. Раман спектрометр Horiba XploRa Plus cо сканирующим зондовым микроскопом | 80 | 85 | 85 | 85 | 90 | 70 | 70 | 70 | 80 | 90 | 95 | 80 |