План работы и загрузка оборудования ЦКП "Наноструктуры"

План работы оборудования Центра формируется на основе плана научной работы и поступивших заявок.

 

 Планируемая и текущая загрузка оборудования ЦКП на 2023 год в процентах

<
Оборудование \ Месяц

01

02

03

 04

05

06

07

 08

 09

 10

11

 12
1. ВРЭМ, Тitan 80-300 (FEI) 95  95 95 95  80  80 80 80 80 80 80 80
2. СЭМ эл.литография, Raith150 (Raith)  90  90 95 90  80 70 70 70 80  80 80  80
3. СЭМ, LEO-1430 (Zeiss) 85  90 90  90 90 80 80 80  80 80 80 80
4. ФИП, Cross Beam 1540XB (Zeiss) 90  85 90 95  90 80 80 80 80 80  80 80
5. АСМ, IntegraAura (НТ-МДТ)  90 95 95  95 90  90  90  90  80  80 80 80
6. Напыление, SunPla 600 ТЕМ (SunPlaEng)  90  90 90 90 90  80  70 70 70 70 70  70
7. ПХТ, Plasma Lab 90 90  90  80 80 80 70 70 70 70  70 70
8. Опт. м-п, Axio Imager z1m (Zeiss) 90 95  95 95 90 90 90 90 90 90 90 90
9. Микроинтерферометр, МНП-1  90 90 90  90 80 80 80 80 80 70 70 70
10. Пробоподготовка, PIPS (Gatan)  95  95 95 95 90 90  90 90 90  90 90  90
11. СТМ, VT-STM (OMICRON)  95 95 95 95 90 90  80  90  90 90 90 90
12. ПЭМ, JEM-4000EX (JEOL)  95 95 95 95 90 90  90  90 90  90  90  90
13. СВВ-ОЭМ - УНУ МАССК-ИФП 95 95  95  95  95 95  95 90 90 95 95  95
14. СВВ установка, Compact-21T (Riber) 95 95  95  95 95 95 95 90 90 90 90  90
15. СЭМ, SU8220 (Hitachi) 95 95 95 95 90 90 90  90  90  90 90  90
16. Опт. литография, ЭМ-5189-01  95 95 95 95 80  90  90  90 80  80 80 80
17. Лазерный комплекс, MultiMode8 (Bruker) 95 95 95  95  90 90 90 90 90  90 90 90
18. Ионно-лучевая обработка, IM150 (Oxford Applied Research) 80 80 80 80 70  70 70  70  70  70 70 70
19. Опт. м-п, BX53 (Olympus)  95 95 95 95 90 90  90  90 90 90 90 90
20. Раман спектрометр Horiba XploRa Plus cо сканирующим зондовым микроскопом 80 85 85 85 90 70 70 70 80 90 95 80
21. Вычислительный кластер ИФП СО РАН 80 85 85 85 90 70 70 70 80 90 95 80
22. Установка атомно-слоевого осаждения металлов, полупроводников и диэлектриков 80 85 85 85 90 70 70 70 80 90 95 80
23. Установки рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) ARPES FlexPS (модульная концепция) для анализа химического и зарядового состояния атомов на поверхности 80 85 85 85 90 70 70 70 80 90 95 80
24. Профилометр "S NEOX" 80 85 85 85 90 70 70 70 80 90 95 80