
Комплект высокоточных мер вертикальных размеров «СТЕПП-ИФП-1» в диапазоне размеров 0.31–31 нм с погрешностью во всем интервале измерений менее 0.05 нм создан в ИФП СО РАН на основе атомно-структурированной кристаллической поверхности (содержащей моноатомные ступени), параметры которых привязаны (обеспечивают прослеживаемость размера длины) к кристаллографическим параметрам кристалла. Метод создания таких мер, основан на управлении морфологией поверхности монокристаллического кремния на атомном уровне за счет использования эффектов самоорганизации, возникающих на атомно-чистой поверхности при прогреве в сверхвысоком вакууме. Разработанный комплект высокоточных мер после проведения государственных испытаний внесен в государственный реестр средств измерений, как тип средства измерений №48115-11 (Приказ Росстандарта № 6290 от 31.10.2011 г.).
- Марка — СТЭПП-ИФП-1.
- Производитель/страна — ИФП СО РАН, Россия.
- Технические характеристики —
- Диапазон размеров мер 0.31-31 нм.
- Погрешность во всем диапазоне 0.05 нм.
- Местонахождение в ЦКП — Отделение метрологической поддержки, к. 107.
- Год модернизации — 2011.
- Балансовая стоимость — 1200 тыс. руб.
- Нормативная стоимость часа работы с учетом амортизации — 1200 руб.
- Нормативное (среднее) количество обработанных образцов в час — 0,1.
- Предоставляемые услуги —
- Поверка и калибровка атомно-силовых микроскопов посредством субнанометровой меры СТЕПП-ИФП-1.
- Используемые методики —
- Методика поверки атомно-силовых микроскопов посредством субнанометровой меры СТЕПП-ИФП-1.