Комплект высокоточных мер вертикальных размеров «СТЕПП-ИФП-1» в диапазоне размеров 0.31–31 нм с погрешностью во всем интервале измерений менее 0.05 нм создан в ИФП СО РАН на основе атомно-структурированной кристаллической поверхности (содержащей моноатомные ступени), параметры которых привязаны (обеспечивают прослеживаемость размера длины) к кристаллографическим параметрам кристалла. Метод создания таких мер, основан на управлении морфологией поверхности монокристаллического кремния на атомном уровне за счет использования эффектов самоорганизации, возникающих на атомно-чистой поверхности при прогреве в сверхвысоком вакууме. Разработанный комплект высокоточных мер после проведения государственных испытаний внесен в государственный реестр средств измерений, как тип средства измерений №48115-11 (Приказ Росстандарта № 6290 от 31.10.2011 г.).

  1. Марка — СТЭПП-ИФП-1.
  2. Производитель/страна — ИФП СО РАН, Россия.
  3. Технические характеристики
    • Диапазон размеров мер 0.31-31 нм.
    • Погрешность во всем диапазоне 0.05 нм.
  4. Местонахождение в ЦКПОтделение метрологической поддержки, к. 107.
  5. Год модернизации — 2011.
  6. Балансовая стоимость — 1200 тыс. руб.
  7. Нормативная стоимость часа работы с учетом амортизации — 1200 руб.
  8. Нормативное (среднее) количество обработанных образцов в час — 0,1.
  9. Предоставляемые услуги
    • Поверка и калибровка атомно-силовых микроскопов посредством субнанометровой меры СТЕПП-ИФП-1.
  10. Используемые методики
    • Методика поверки атомно-силовых микроскопов посредством субнанометровой меры СТЕПП-ИФП-1.