Состав отделения:
- инж.-технолог Н.А. Шалыгина, к.106, т.(383)3309082
- инж.-технолог М.М. Качанова
- инж.-технолог Т.А. Живодкова
Основное направление активности - подготовка образцов для электронной, оптической и ионной литографии, а также просвечивающей электронной микроскопии, в том числе методами химического и ионного травления, а также нанесение на поверхность образцов металлов, фото- и электронного резиста.
Отделение предоставляет следующие услуги:
- Препарирование образцов для проведения исследований методами высокоразрешающей электронной микроскопии основанных на утонении кристалла методами механической, химико-механической, химической и ионной обработки.
- Химическая обработка образцов, в том числе при проведении электронной, оптической и ионной литографии.
Для проведения экспериментов в отделении разработаны и внедрены следующие методики:
- Методика препарирования планарных кристаллических образцов для просвечивающей и высокоразрешающей электронной микроскопии, включающая химико-механическую полировку, химическое травление и термическое окисление.
- Методика изготовления образцов поперечного сечения, основанная на ионном травлении тонких механических срезов склеенных структур, для изучения пространственного распределения, морфологии и атомной структуры нанообъектов, протяженных дефектов, границ раздела методами просвечивающей электронной микроскопии.
- Оригинальная методика препарирования сложных химических соединений на основе А2В6 для просвечивающей и высокоразрешающей электронной микроскопии, позволяющая изготовление планарных и поперечных сечений на основе химико-механического утонения.
- Методика нанесения электронноного резиста на различные полупроводниковые пластины методом центрифугирования.
- Методика нанесения фоторезиста на различные полупроводниковые пластины.
- Методика взрывного нанесения металла через маску в резисте.
Услуги предоставляются отделением с использованием следующего оборудования:
