Многофункциональный аналитический субангстремный сверхвысоковакуумный комплекс "МАССК-ИФП" разработан в ИФП СО РАН и не имеет аналогов в РФ. Уникальный комплекс высокотехнологичного оборудования МАССК-ИФП, входящий в состав ЦКП «Наноструктуры» при ИФП СО РАН, обеспечивает проведение диагностики и прецизионное управление атомными процессами, протекающими на поверхности кристаллов на субангстремном уровне. Комплекс обеспечивает проведение исследований газовых реакций на поверхности кристаллов, а также влияния ионно-лучевого травления на структуру и морфологию поверхности.