Состав отделения:
- Руководитель - с.н.с., к.ф.-м.н. Д.В. Щеглов, к.107, т.(383)3309082, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
- Ответственный за радиационную и электробезопасность инженер-технолог С.В. Родякин
Основные направления активности - разработка высокоточных мер с субангстремным вертикальным разрешением в диапазоне 0,31 – 31 нм, разработка нормативно-технической документации, регламентирующей применение высокоточных мер, проведение работ по подтверждению и аттестации метрологических характеристик комплектов высокоточных мер в диапазоне 0,31 – 31 нм, разработка методик калибровки и поверки атомно-силовых и цифровых интерференционных микроскопов с помощью разрабатываемых мер.
Отделение предоставляет следующие услуги:
- Поверка и калибровка атомно-силовых микроскопов посредством субнанометровой меры СТЕПП-ИФП-1.
- Количественный морфологический анализ и измерения линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур с применением сканирующего зондового микроскопа.
- Измерение линейных размеров элементов структур микро и нанорельефа поверхности конденсированных сред с помощью мер нанометрового диапазона.
Для проведения экспериментов в отделении разработаны и внедрены следующие методики:
- Методика количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур с применением сканирующего зондового микроскопа.
- Методика трехмерных измерений линейных размеров элементов структур микро и нанорельефа поверхности конденсированных сред с помощью мер нанометрового диапазона.
- Методика поверки атомно-силовых микроскопов посредством субнанометровой меры СТЕПП-ИФП-1
Услуги предоставляются отделением с использованием следующего оборудования:
