Состав отделения:

• Руководитель - н.с., Т.А. Гаврилова, к.107, т.(383)3309082, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
• вед. инженер-технолог Ю.А. Живодков

Основное направление активности - исследование морфологии и химического состава поверхностей полупроводников, металлов и диэлектриков методами сканирующей электронной микроскопии.

Отделение предоставляет следующие услуги:

• Проведение измерений линейных размеров элементов структур микро- и нанорельефа поверхности твердотельных материалов и биологических объектов в нанометровом диапазоне.
• Анализ химического состава приповерхностного слоя методами EDX на базе сканирующей электронной микроскопии.
• Исследование морфологии и структуры поверхности твердотельных структур и оперативный контроль атомарных поверхностей методами сканирующей туннельной, атомно-силовой и электронной микроскопии.

Для проведения экспериментов в отделении разработаны и внедрены следующие методики:

• Методика количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур с применением сканирующего электронного микроскопа.

Услуги предоставляются отделением с использованием следующего оборудования:

• Микроскоп электронный сканирующий
• Микроскоп электронный растровый с литографической приставкой
• Установка фокусированных ионных пучков CROSS BEAM с приставкой EDX и литографической приставкой
• Сканирующий электронный микроскоп Hitachi SU8220