691 PIPS Gatan

Оптическая литография реализована в ЦКП на базе генератора изображения ЭМ-5189-01. Генератор изображения лазерный многоканальный ЭМ-5189-01 предназначен для непосредственного формирования топологических структур на полупроводниковых пластинах и изготовления промежуточных шаблонов при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.

Изображение формируется по принципу растрового сканирования.



  1. Марка — ЭМ-5189-01.
  2. Производитель/страна — «КБТЭМ-ОМО», Республика Беларусь, г. Минск.
  3. Технические характеристики:
    • В системе экспонирования используется непрерывный ультрафиолетовый аргоновый (криптоновый) ионный лазер с длиной волны 350,7 нм. Мощность лазера 300 мВт. Модель SP-2060 (SP-2060/65) фирмы Spectra Phisics.
    • Производительность при изготовлении топологии 150 мм2/мин.
    • Размер рабочего поля 215×215 мм2.
    • Минимальный формируемый размер 600 нм.
    • Равномерность(однородность) критического размера ±40 нм.
    • Погрешность стыковок полос ±40 нм.
    • Неровность края топологического элемента ±40 нм.
    • Погрешность совмещения ±70 нм.
  4. Местонахождение в ЦКПОтделение микролитографии
  5. Год модернизации — 2012.
  6. Балансовая стоимость — 27900 тыс. руб.
  7. Нормативная стоимость часа работы с учетом амортизации — 6190 руб.
  8. Нормативное (среднее) количество обработанных образцов в час — 0,1.
  9. Предоставляемые услуги:
    • Оптическая литография для непосредственного формирования топологических структур на полупроводниковых пластинах и изготовления промежуточных шаблонов при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.
  10. Используемые методики:
    • Методика нанесения фоторезиста на различные полупроводниковые пластины.
    • Методика последовательного совмещения слоев фотошаблонов после проявли резиста, травления пластины и нанесения металов.
    • Методика взрывного нанескения металла через маску в резисте.