Установка молекулярно-лучевой эпитаксии соединений A3N из аммиака Compact-21Т французской фирмы Riber. Установка оснащена системой регистрации и анализа ДБЭО картин k-Space400, что обеспечивает возможность проведения in situ измерений физико-химических параметров наноструктур на основе полупроводниковых нитридов в условиях сверхвысокого вакуума.

  1. Марка — Compact - 21T.
  2. Производитель/страна — Riber, Франция.
  3. Технические характеристики: применяемый в установке высокотемпературный нагреватель из PG позволяет проводить исследования на 2-ух и 2-ёх дюймовых подложках при температурах вплоть до 1200 градусов Цельсия в условиях агрессивной остаточной атмосферы аммиака. Наличие двух газовых линий обеспечивает претензионную подачу аммиака в диапазоне от 1 до 400 н.мл./мин. Все имеющиеся источники металлов имеют специальные конструкции и формы тиглей из PBN и PG, препятствующие сreeping-эффекту и вытеканию металлов из тиглей в остаточной атмосфере аммиака. Вакуум в ростовой камере поддерживается турбомолекулярным насосом с максимальной скоростью откачки 2000 литров в секунду.
  4. Год модернизации — 2015.
  5. Балансовая стоимость — 48 000 тыс. руб.
  6. Предоставляемые услуги:
    • Проведение синтеза наноструктур на основе полупроводниковых нитридов в условиях сверхвысокого вакуума и in situ анализ их физико-химических параметров.