- Обнаружение и изучение особенностей микрорельефа поверхности образца связанных с ростовыми дефектами или протяженными дефектами кристаллической решетки, например, в эпитаксиальных слоях или образцах, подвергнутых различным воздействиям (ионная имплантация, электронное облучение, лазерный отжиг, прямое соединение пластин и др.).
- Определение распределения и плотности дефектов по поверхности образца и локализация отдельных дефектов с малой плотностью распределения.
- Выявление рельефа нанометровой высоты, например, при изучении морфологии поверхности эпитаксиальных слоев в структурах, содержащих дислокации несоответствия.>
- Анализ качества фольг, изготовленных для просвечивающей электронной микроскопии.
1. Марка -Olympus BX-53
2. Производитель/страна - Olympus, Япония
3. Технические характеристики -
- Режимы наблюдения образцов: отраженный и проходящий свет, светлопольное и темнопольное изображение, поляризационный контраст, дифференциальный интерференционный контраст (DIC);
- Диапазон увеличения от 50х до 1000х;
- Универсальные объективы для светлого/темного поля и для поляризации без внутренних напряжений – 5х; 10х; 20х; 50х; 100х;
- Окуляры х10;
- Светодиодные осветители;
- Ход фокусировки 25 мм, точная фокусировка в пределах 100 мкм с шагом 1 мкм;
- Цифровая цветная камера UC50 с разрешением 2588 x 1960 пикселей (размер пикселя 3.4 mm x 3.4 mm;
- Программное обеспечение: Olympus Stream обеспечивает получение и сохранение изображений, последующую обработку изображений, измерение геометрических характеристик изображения, а также съемку изображений с широким диапазоном яркости (HDR), с большой глубиной резкости (EFI), панорамных изображений, которые объединяются в одно изображение непосредственно в процессе съемки.
4. Местонахождение в ЦКП - к.123.
5. Год модернизации - 2016.
6. Балансовая стоимость - 3.100 тыс. руб.