Микроскоп исследовательского класса предназначен для проведения исследований образцов в отраженном и проходящем свете. При работе с полупроводниковыми материалами микроскоп используется для решения следующих задач:
  • Обнаружение и изучение особенностей микрорельефа поверхности образца связанных с ростовыми дефектами или протяженными дефектами кристаллической решетки, например, в эпитаксиальных слоях или образцах, подвергнутых различным воздействиям (ионная имплантация, электронное облучение, лазерный отжиг, прямое соединение пластин и др.).
  • Определение распределения и плотности дефектов по поверхности образца и локализация отдельных дефектов с малой плотностью распределения.
  • Выявление рельефа нанометровой высоты, например, при изучении морфологии поверхности эпитаксиальных слоев в структурах, содержащих дислокации несоответствия.>
  • Анализ качества фольг, изготовленных для просвечивающей электронной микроскопии.

1. Марка -Olympus BX-53

2. Производитель/страна - Olympus, Япония

3. Технические характеристики -

  • Режимы наблюдения образцов: отраженный и проходящий свет, светлопольное и темнопольное изображение, поляризационный контраст, дифференциальный интерференционный контраст (DIC);
  • Диапазон увеличения от 50х до 1000х;
  • Универсальные объективы для светлого/темного поля и для поляризации без внутренних напряжений – 5х; 10х; 20х; 50х; 100х;
  • Окуляры х10;
  • Светодиодные осветители;
  • Ход фокусировки 25 мм, точная фокусировка в пределах 100 мкм с шагом 1 мкм;
  • Цифровая цветная камера UC50 с разрешением 2588 x 1960 пикселей (размер пикселя 3.4 mm x 3.4 mm;
  • Программное обеспечение: Olympus Stream обеспечивает получение и сохранение изображений, последующую обработку изображений, измерение геометрических характеристик изображения, а также съемку изображений с широким диапазоном яркости (HDR), с большой глубиной резкости (EFI), панорамных изображений, которые объединяются в одно изображение непосредственно в процессе съемки.

4. Местонахождение в ЦКП - к.123.

5. Год модернизации - 2016.

6. Балансовая стоимость - 3.100 тыс. руб.

7. Нормативная стоимость часа работы с учетом амортизации - 310 руб.

8. Нормативное (среднее) количество обработанных образцов в час - 2.