Эффективным и информативным методом структурного анализа поверхности является сканирующая электронная микроскопия (СЭМ). Этот метод, не являясь разрушающим методом, позволяет оперативно проводить количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур с разрешением до одного нанометра. Применение источника полевой эмиссий для формирования диагностического пучка, позволяет сканирующей электронной микроскопии визуализировать неоднородности рельефа в пределах одного монослоя, проводить анализ химического состава поверхности с помощью встроенного блока энерго-дисперсионного анализа, определять электрическую активность дефектов по методике наведенного тока и т.д.

LEO-1430
  1. Марка — LEO-1430.
  2. Производитель/страна — Zeiss, Германия.
  3. Технические характеристики:
    • Пространственное разрешение — 3,5 нм.
    • Угол наклона образца 0° - 90°.
    • Характеристики электронной пушки:
      • Ускоряющее напряжение — 200 - 30000 В.
      • Ток пучка — 1 нА - 1 мкА.
      • Время жизни катода — более 2000 часов.
      • Увеличение — 15х - 300кх.
    • Вакуумная система:
      • Давление в рабочей камере < 2×10-6 Торр.
      • Давление в пушке < 1×10-9 Торр.
  4. Местонахождение в ЦКП
    Отделение cканирующей электронной микроскопии, к.107.
  5. Год модернизации — 2013.
  6. Балансовая стоимость — 7841 тыс. руб.
  7. Нормативная стоимость часа работы с учетом амортизации — 590 руб.
  8. Нормативное (среднее) количество обработанных образцов в час — 1.
  9. Предоставляемые услуги:
    • Проведение измерений линейных размеров элементов структур микро- и нанорельефа поверхности твердотельных материалов и биологических объектов в нанометровом диапазоне.
    • Исследование морфологии и структуры поверхности твердотельных структур и оперативный контроль атомарных поверхностей методами сканирующей туннельной, атомно-силовой и электронной микроскопии.
  10. Используемые методики:
    • Методика количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур с применением сканирующего электронного микроскопа.