В.В.Шашкин, М.А.Демьяненко, А.И.Козлов, А.Г.Клименко, И.В.Марчишин, В.Н.Овсюк, П.Ю.Пак, А.П.Савченко
Лаборатория кинетических явлений в полупроводниках.
Лаборатория молекулярно-лучевой эпитаксии полупроводниковых соединений А3В5.
Сектор физико-технических проблем микросборки многоэлементных приборных устройств.
В.В.Шашкин, М.А.Демьяненко, А.Г.Клименко, В.Н.Овсюк, О.И.Семенова, Л.Л.Васильева, Б.И.Фомин
Лаборатория физической химии поверхности полупроводников и систем полупроводник-диэлектрик.
Лаборатория кинетических явлений в полупроводниках.
Лаборатория технологии кремниевой микроэлектроники.
Лаборатория физико-технологических основ создания приборов на основе полупроводников А2В6.
В.А.Гриценко
Научно-технический отдел монокристаллического кремния и кремниевых структур
А.А.Пахневич, В.В.Бакин, А.В.Язьков, Г.Э.Шайблер, С.В.Шевелёв, О.Е.Терещенко, А.С.Ярошевич, А.С.Терехов
Лаборатория неравновесных процессов в полупроводниках
Ю.В.Настаушев, М.М.Качанова, Ф.Н.Дульцев, О.В.Наумова, Д.В.Щеглов, А.С.Медведев, В.П.Попов, А.В.Латышев, А.Л.Асеев
Лаборатория электронной микроскопии и субмикронных структур.
Лаборатория физики и технологии структур на основе полупроводников A3B5.
Лаборатория физических основ материаловедения кремния.