В.Н.Овсюк, В.В.Шашкин, М.А.Демьяненко, Е.И.Черепов, Б.И.Фомин, С.М.Репинский, Л.Л.Васильева, С.П.Супрун
Лаборатория кинетических явлений в полупроводниках,
Лаборатория технологии кремниевой микроэлектроники,
Лаборатория физики
и технологии гетероструктур,
Лаборатория физической химии поверхности
полупроводников и систем полупроводник-диэлектрик
Целью работы является создание неохлаждаемых матричных
микроболометрических приемников размерностью 320х320 элементов для
малогабаритного тепловизионного прибора индивидуального применения с
температурным разрешением 0,05-0,08К тепловых объектов, излучающих в
диапазоне длин волн 8≤λ≤14 μm. В настоящее время разработана технология
изготовления и исследованы одиночные микроболометры с высокой
чувствительностью (2,5·105 В/Вт). Показано, что методами
золь-гель техно-логии возможно создание слоев окислов ванадия с
требуемым сопротивлением, температурным коэффициентом и малыми фликкер
шумами. Изготовлены макеты микроболометрической матрицы с шагом 55 мкм,
размерностью 64х64 элемента. На рис. 2 приведены микрофотографии
отдельного микроболомет-рического приемника (МБП) и фрагмента матрицы
(фрагмент матрицы приведен при различном увеличении).
 |
Рис. 2. Микроболометрическая матрица при различном увеличении:
а - сторона квадрата микрофотографии 800 мкм, б - 40 мкм.
|
Основные параметры конструкции МБП: размер
50х50мкм, ширина несущей нитридной балки МБП - 3мкм, ширина
металлической шины, проходящей по несущей балке - 1,5мкм, зазор зеркало
- теплочувствительный элемент 2,5 мкм.