РАЗРАБОТКИ
Низкотемпературная (не выше 300С) золь-гель технология получения пленок окисла ванадия с температурным коэффициентом сопротивления около 1,5%. Технололия успешно использована при изготовлении микроболометрических матриц ИК – диапазона форматом 120х160 пикселей.
Технология микроболометрических матрицы форматом 160х120 и 320х240 пикселей. Размер пикселя 51 мкм. ФПУ с такими матрицами позволяет получать тепловое изображение с разрешением менее 0,1 градуса. В настоящее время ведется разработка технологии с целью получения матриц большего формата и размером пикселя 25 мкм и 17 мкм.
a
b(a) - Фрагмент микроболометрической матрицы форматом 320х240 пикселей и (b) - тепловое изображение человека, полученное с помощью данной матрицы.
-
Низкотемпературная технология изготовления высокочувствительных полупроводниковых нанопроволочных химических и биологических сенсоров. Чувствительность сенсоров может достигать 10-14 - 10-15 моль/литр.
(a) - изображение отдельного КНИ-нанопроволочного транзистора в качестве высокочувствительного элемента химических и биологических сенсоров, (b) - изменения сток-затворных характеристик сенсора с ростом содержания молекул BSA в растворе от фемто-моля и выше и (c) - yстановленная чувствительность к различным типам частиц (совместно с ИБМХ РАМН)