ПАТЕНТЫ

  1. И. П. Михайловский, М. А. Демьяненко, Т. А. Гаврилова, Б. И. Фомин, В. Н. Овсюк, «Способ изготовлений диэлектрического слоя» Неохлаждаемый болометр по решению РОСПАТЕНТА о выдаче патента на изобретение от 15.01.2013 по заявке №2011151923/28. Приоритет от 19.12.2011
  2. Настаушев Ю.В. Наумова О.В. Девятова С.Ф. Попов В.П. Способ изготовления наносенсора. Патент на изобретение РФ № 2359359, приоритет от 15.11.2007, Б.И. № 11, 2009
  3. Ю.В. Настаушев, O.В.Наумова, Ф.Н.Дульцев. Способ создания диэлектрического слоя. Патент на изобретение Российской Федерации № RU 2274926, 2006, Б.И. № 11.
  4. Ю.В. Настаушев; О.В. Наумова; В.П. Попов. Полевой нанотранзистор Патент на изобретение Российской Федерации № RU 2250535, 2005, Б.И. № 4
  5. Фомин Б.И. Способ изготовления геттера в монокристаллических пластинах кремния, Авт.свид.№1387797 от 08.12.87