Лаборатория технологии кремниевой микроэлектроники

ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Основными направлениями деятельности лаборатории являются:

1. Разработка технологии, изготовление и исследование физико-химических свойств биологических и химических сенсоров различного вида.

2. Разработка технологии изготовления микроболометрических матриц большого формата с размером пикселя 25, 17 мкм.

3. Изготовление для лабораторий института различного вида тестовых МДП-структур и приборов специального назначения.

В состав лаборатории входят 11 сотрудников, из них: 2 научных сотрудника (один д.ф.-м.н и один к.т.н.), 7 человек инженерно-технического персонала и 2 аспиранта.

Проведение работ базируется на технологическом оборудовании кремниевой линейки и комплексно-измерительном оборудовании полупроводниковых структур и приборов.