|
ФИО
|
Щеглов Дмитрий Владимирович
|
|
Тема
|
Атомно-силовая микроскопия для задач субангстремной диагностики и модификации поверхности полупроводников
|
|
Описание
|
Диссертация представлена на соискание ученой степени доктора физико-математических наук по специальности 1.3.8 – физика конденсированного состояния
|
|
Автореферат
|
|
Текст диссертации
(размещён 30.12.2025)
|
|
|
Научный консультант
|
директор ИФП СО РАН академик РАН, д.ф.-м.н. Латышев А.В.
|
|
Оппоненты
|
|
|
Ведущая организация
|
|
|
Заключение комиссии
|
|
|
Решение о приёме диссертации к защите
|
|
|
Объявление о защите диссертации
|
|
|
Отзывы на автореферат
|
|
|
Итоги защиты
|
|