Лаборатория физико-технологических основ создания приборов на основе соединений А2В6

ПРОЕКТЫ

  1. Разработка технологии и создание матричных фотоприемников 3 поколения

    • двухцветных матричных фотоприемников на спектральный диапазон 3-5 мкм и 8-12 мкм

    • полноформатных матричных фотоприемников с форматом более 640×480

  2. Исследование путей создания и разработка конструкции чувствительных элементов с длинноволновой границей спектральной чувствительности 12.5 мкм и более.

  3. Разработка и изготовление матричных фотоприемников с шагом между пикселями 20 мкм, а в перспективе – 15 мкм.

  4. Разработка специальных базовых технологических процессов для изготовления фоточувствительных элементов на основе КРТ.

    • формирование разновысоких индиевых столбиков

    • разработка и оптимизация технологии сухого травления КРТ

    • разработка процессов пассивации поверхности КРТ на новой установке Oxford Plasmalab ICP - ALD

    • разработка новой технологии изготовления фотодиодов p-n на слоях n- типа проводимости с низкой величиной темновых токов и низким уровнем дефектных элементов и повышенной рабочей температурой. Отработка процессов ионного легирования слоев КРТ мышьяком с помощью ионного имплантера IMC-200.