на базе лаборатории технологии кремниевой микроэлектроники
Подвижность электронов в тонких пленках кремния
Докладчик: Зайцева Эльза Гайнуллаевна
Диссертация на соискание ученой степени
кандидата физико-математических наук
по специальности 1.3.11 – физика полупроводников
Научный руководитель д.ф.-м.н. Наумова О. В.
Научный рецензент к.ф.-м.н. Протасов Д. Ю.
Ведущий семинара д.ф.-м.н. Двуреченский А. В.