Высокотемпературные атомные процессы на границе раздела кремний-вакуум при сублимации, эпитаксии, термическом травлении кислородом и осаждении золота

Докладчик: Косолобов Сергей Сергеевич

Диссертация на соискание ученой степени
доктора физико-математических наук
по специальности 1.3.8 – физика конденсированного состояния

Научный консультант академик РАН Латышев А.В.

Научный рецензент д.ф.-м.н. Никифоров А.И.

Ведущий семинара д.ф.-м.н. Милёхин А.Г.