ИК ФПУ на основе неохлаждаемых матричныхмикроболометрических приемников
Лаборатория кинетических явлений в полупроводниках
Аналитический комплекс для характеризации свойств поверхности твердого тела методом полной эллипсометрии ЭЛЛИПС-АМ
Лаборатория эллипсометрии полупроводниковых материалов и структур
Комплекты высокоточных мер вертикальных размеров в диапазоне 0,31 - 31 нм
Лаборатория нанодиагностики и нанолитографии
Подробнее в разделе "РАЗРАБОТКИ"