А.Г. Погосов, М.В. Буданцев
На основе полупроводниковой мембраны, отделенной от подложки, изготовлен транзистор с эффектом кулоновской блокады - квантовая точка, соединенная
двумя туннельными барьерами с областями истока и стока, рядом с которой расположены два боковых затвора. Полупроводниковая мембрана изготовлена методом
селективного травления жертвенного AlAs слоя, отделяющего GaAs подложку от
AlGaAs/GaAs гетероструктуры, содержащей двумерный электронный газ.
 |
Рис. Структура кондактанса подвешенного одноэлектронного транзистора как функция затворного VG напряжения и напряжения исток-сток VSD.
|
Латеральная геометрия транзистора формировалась электронной литографией и последующим анизотропным реактивным
травлением. Для изучения переноса заряда в полученной структуре проводились низкотемпературные измерения
кондактанса как функции тянущего и затворного напряжений. Проводились сравнительные измерения величины кулоновской щели в транзисторе, находящемся
в массиве полупроводника, и в нем же,
но оторванном от подложки (т.е. до и после операции селективного травления). Зависимость кондактанса подвешенного
одноэлектронного транзистора от тянущего (исток-сток) и затворного напряжения имеет ромбовидную структуру, характерную для эффекта кулоновской блокады. До отрыва транзистора от подложки величина кулоновской щели составляла
50 К (в температурных единицах), в то время как после отрыва от подложки увеличилась до 150 К (см. рис.).
Увеличение энергии в 3 раза против предельного ожидаемого результата в e≈10 раз объясняется наличием невытравленных областей между квантовой точкой и областями истока/стока.
В полученном транзисторе наблюдается также блокада туннелирования предположительно не кулоновской природы, проявляющаяся в подавлении кондактанса при малых смещениях исток/сток VSD ≈50 мВ (см. рис.) вне зависимости от затворного напряжения. Подобное поведение описано в работе, где оно объясняется
эффектом фононной блокады, исчезающим при повышении температуры до 400
мК. Однако, в нашем случае такое поведение сохраняется до высоких температур
4,2 К и, таким образом, требует отдельного теоретического изучения.
Проведенные исследования и, в первую очередь, обнаружение большой величины зарядовой энергии подвешенной квантовой точки позволяют заключить,
что подобные устройства перспективны с точки зрения создания одноэлектронных
приборов, работающих при высоких температурах, а также представляют интерес
как структуры с необычными физическими свойствами, обусловленными спецификой фононных мод и электрон-фононного взаимодействия в подвешенных мембранах.