А.Г.Погосов, М.В.Буданцев, Р.А.Лавров, А.Е.Плотников, А.К.Бакаров,
А.И.Торопов, Ж.К.Порталь
Впервые на основе полупроводниковой мембраны, отделенной от подложки
(Рис. 1a), изготовлен транзистор с эффектом кулоновской блокады - квантовая точка, соединенная двумя туннельными барьерами с областями истока s и стока d,
рядом с которой расположены два боковых затвора g1 и g2 (Рис. 1б). Полупроводниковая мембрана изготовлена методом селективного травления жертвенного AlAs
слоя, отделяющего GaAs подложку от AlGaAs/GaAs гетероструктуры, содержащей двумерный электронный газ (Рис. 1в).

Рис. 1. Изображения подвешенной мембраны (a) и транзистора (б), полученные с помощью электронного микроскопа. в) - схема используемой гетероструктуры.
Рис. 2. Зависимость кондактанса G от тянущего Vsd и затворного Vg1 напряжений.
Зависимость кондактанса транзистора от тянущего (исток-сток) и затворного напряжения (Рис. 2) имеет ромбовидную структуру, характерную для эффекта
кулоновской блокады. Вертикальный размер ромба ΔVsd = Ec/e, где Ec - зарядовая
энергия квантовой точки. Отрыв образца от подложки, обладающей высокой диэлектрической проницаемостью, привел к резкому снижению полной емкости C квантовой точки и как следствие к увеличению зарядовой энергии Ec = e2/C и критической температуры работы транзистора Tc = Ec/k = 40 K. Подобные устройства перспективны с точки зрения создания одноэлектронных приборов, работающих при
высоких температурах. В изготовленном транзисторе обнаружена термоэдс фононного увлечения, которая имеет аномальную знакопеременную зависимость от затворного напряжения и интенсивности потока фононов. Для объяснения этих закономерностей предложены возможные физические механизмы: акустогальванический эффект, баллистическое переотражение, приводящие к наблюдаемым аномалиям термоэдс.
Описанная технология изготовления подвешенных наноструктур может быть расширена и на другие материалы, такие, например, как кремний-на-изоляторе.