ФИО Щеглов Дмитрий Владимирович
Тема Атомно-силовая микроскопия для задач субангстремной диагностики и модификации поверхности полупроводников
Описание Диссертация представлена на соискание ученой степени доктора физико-математических наук по специальности 1.3.8 – физика конденсированного состояния
Автореферат
Текст диссертации
(размещён 30.12.2025)
Научный консультант директор ИФП СО РАН академик РАН, д.ф.-м.н. Латышев А.В.
Оппоненты

Ведущая организация
Заключение комиссии
Решение о приёме диссертации к защите
Объявление о защите диссертации
Отзывы на автореферат
Итоги защиты

  1. Русецкий Вадим Сергеевич
  2. Петров Алексей Сергеевич
  3. Герасимова Алина Константиновна
  4. Воронковский Виталий Александрович