web-master


СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА
"КАТУНЬ-100"

   

Автоматизированная
компактная установка
для эпитаксии
пленок и наноструктур
на основе Si, Ge и
соединений А3В5


      Характеристика

      Система в зависимости от пожеланий заказчика может состоять из нескольких специализированных вакуумных камер: камеры загрузки-выгрузки пластин-подложек с кассетной загрузкой (2 кассеты по 10 пластин диаметром 102мм); камеры эпитаксиального роста элементарных полупроводников (Si,Ge), металлических и диэлектрических слоев с электронно-лучевыми испарителями и плазменными источниками; камеры для выращивания полупроводниковых соединений А3В5, A3N и А2В6 (с 6 или 12 молекулярными источниками, в том числе вентильного типа для фосфора и мышьяка) и аналитической камеры с ОЖЕ-спектрометром и автоматическим лазерным эллипсометром. Возможна комбинация рабочих камер в любом порядке. Установка оборудована системой автоматизированного управления и пакетом программ для проведения технологических процессов. Скорости роста пленочных структур от долей атомного слоя до микронов в час.

      В комплекте с системой или отдельно изготавливаются и могут поставляться:
- тигли из пиролитического нитрида бора различных размеров, обработанные по оригинальной методике в соответствии с требованиями эпитаксиальной технологии;
- тигельные, вентильные и электронно-лучевые источники молекулярных пучков;
- электронные дифрактометры (ускоряющее напряжение до 30 кВ);
- системы для регистрации дифракционных картин и анализа их интенсивности с программным обеспечением;
- лазерные эллипсометры для измерения оптических параметров и толщины тонкопленочных структур в процессе их получения;
- оптические пирометры;
- блоки питания и управления технологическими процессами с программным обеспечением.


      Технико-экономические преимущества

  • новизна и оригинальность технологических решений;
  • рабочие характеристики мирового уровня при низкой себестоимости;
  • автоматическая загрузка-выгрузка пластин-подложек и вакуумный контейнер;
  • отсутствие магнитных манипуляторов;
  • автоматизированная система управления технологическим процессом с блоками питания и терморегулирования на основе импортных комплектующих с оригинальным программным обеспечением;
  • удобство как для лабораторного, так и для промышленного использования.

      Области применения

      Производство материалов и многослойных эпитаксиальных структур для элементной базы микро- нано- и оптоэлектроники (СВЧ-приборы, фотоприемные устройства, навигационное оборудование, лазерные системы, телекоммуникации, спутниковое телевидение и т.д).

      Патентная защита

      Патенты, авторские свидетельства, ноу-хау.

      Ориентировочная стоимость (в зависимости от комплектации)

      Цена однокамерной системы - 350000 - 800000 USD;

      Источники молекулярных пучков с тиглями из нитрида бора - 3000 - 6000 USD;

      Дифрактометр быстрых электронов - 15000 - 30000 USD;

      Лазерный эллипсометр 25000 - 50000 USD.

Адрес: ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ СО РАН
630090, Новосибирск, пр.Лаврентьева, 13,
тел./факс (383) 333-35-02, тел. 333-32-86,
е-mail:pch@isp.nsc.ru