Установки |
(Год разработки) Город, организация (пользователь) |
Год выпуска
|
"МАВР" (ИФП СО РАН 1978) |
1-камерная |
Новосибирск, ИФП (Пчеляков О.П.) |
1979 |
"СЕЛЕНГА" (Совместно с ИЯФ СО РАН 1982) |
3-камерная |
Новосибирск, ИФП (Кантер Ю.О.) |
1982 |
ИФП СО РАН совместно с Конструкторско-технологическим институтом
прикладной микро-электроники, Опытным заводом СО РАН и НИИ Вакуумного электронного машиностроения
г.Ижевска изготовлено 39 установок МЛЭ, в том числе 85 СВВ камер,
более 100 дифрактометров быстрых электронов и лазерных встраиваемых эллипсометров
|
"АНГАРА"(модель 1985) |
3-камерная |
Новосибирск, НПО "Союз" (Коробов В.В.) |
1986 |
3-камерная |
Новосибирск, НПО "Восток" (Величко А.А) |
1986 |
3-камерная |
Красноярск, ИФ (Овчинников С.Г.) |
1986 |
3-камерная |
Минск, МНИИРМ (Грачев О.А) |
1986 |
"КАТУНЬ"(модель 1987) |
3-камерная |
Минск, МНИИРМ (Ломовой В.В) |
1987 |
3-камерная |
Москва, "Орион" (Осадчев Л.А.) |
1987 |
"КАТУНЬ В"(модель 1988) |
3-камерная |
Болгария, Пловдив (Каканаков Р.Д) |
1988 |
3-камерная |
Красноярск, ПО "Искра" (Игнашев М.П.) |
1988 |
3-камерная |
Москва, ФИАН (Клевков Ю.В.) |
1988 |
1-камерная |
Владивосток, ИАиПУ (Лифшиц В.Г)
|
1989/90 |
1-камерная |
Новосибирск, "ИНТРА" (Лубышев Д.И) |
1989/90 |
3-камерная |
Н-Новгород, НИИИС (Кванин В.Н.) |
1989/90 |
3-камерная |
С-Петербург, ГОИ (Овсянников В.В.) |
1989/90 |
3-камерная |
Новосибирск, Оп. з-д. (Третьяков А.Г.) |
1989 |
2-камерная |
Киев, ИХП (Козырев Ю.Н.) |
1989 |
1-камерная |
Черноголовка, ИПТМ РАН (Вяткин А.Ф.) |
1989 |
1-камерная |
Новосибирск, МП "Синтез" (Третьяков А.Г.) |
1989 |
Установками молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ),
изготовленными за счёт привлечения внебюджетных средств, оснащались лаборатории Института физики полупроводников СО РАН
|
"АНГАРА"(модель 1985) |
3-камерная |
Новосибирск, ИФП (Торопов А.И.) |
1985 |
3-камерная |
Новосибирск, ИФП (Шумский В.Н.) |
1986 |
2-камерная |
Новосибирск, ИФП (Двуреченский А.В.) |
1986 |
1-камерная |
Новосибирск, ИФП (Машанов В.И.) |
1986 |
1-камерная |
Новосибирск, ИФП (Калинин В.В.) |
1986 |
"КАТУНЬ"(модель 1987) |
3-камерная |
Новосибирск, ИФП (Сидоров Ю.Г.) |
1987 |
"КАТУНЬ В"(модель 1988) |
2-камерная |
Новосибирск, ИФП (Кожухов А.В.) |
1989 |
1-камерная |
Новосибирск, ИФП (Соколов Л.В.) |
1989 |
"КАТУНЬ С"(модель 1990) |
1-камерная |
Новосибирск, ИФП (Торопов А.И.) |
1990/91 |
1-камерная |
Новосибирск, ИФП (Ольшанецкий Б.З.) |
1990/91 |
1-камерная |
Новосибирск, ИФП (Лубышев Д.И.) |
1990/91 |
2-камерная |
Новосибирск, ИФП (Кантер Б.З.) |
1990 |
1-камерная |
Новосибирск, ИФП (Калинин В.В) |
1990/91 |
"ОБЪ" (модель 1991) |
3-камерная |
Новосибирск, ИФП (Сидоров Ю.Г.) |
1992 |
Установка для лазерного разделения изотопов "УЛОВ"
 |
1-камерная |
Новосибирск, ИФП (Бохан П.А.) |
2001 |
"ОБЪ" (модель 2000)
 |
4-камерная |
Новосибирск, ИФП (Сидоров Ю.Г.) |
2002 |
4-камерная |
Новосибирск, ИФП (Сидоров Ю.Г.) |
2005 |
Установка для лазерного охлаждения вещества "Магнолия" |
1-камерная |
Новосибирск, ИЛФ СО РАН, (Багаев С.Н.) |
2006 |
"КАТУНЬ-100" (модель 2007) |
1-камерная |
Томск, ТГУ, (Ивонин И.В.) |
2008 |
"КАТУНЬ-100" (модель 2008) |
2-камерная |
Новосибирск, НГТУ, (Величко А.А.) |
2008 |
Стенд - имитатор космического вакуума "Экран" |
1-камерный |
Новосибирск, ИФП СО РАН, (Петиков Н.И.) |
2008 |
Отдельные узлы и блоки установки "Катунь С" |
RHEED+
Ист. мол.пучков |
Бразилия, Сан-Карлос (Басмажи П.) |
1992 |
Ист. мол.
пучков |
Польша, Варшава (Херман М.) |
1993 |
Ист. мол. пучков
|
Япония, Токио (Нишинага Т.)
|
1994
|
Вакуумный ввод прецизионного перемещения и ЭЛИ с БП
|
Черноголовка, ИПТММ РАН (Вяткин А.Ф.)
|
2004
|
ЭЛИ, Источники МП,
Блоки питания, ДБЭ
|
Санкт Петербург (Чалый В.П.)
|
2007-2008
|
ДБЭ, Эллипсометр |
Казахстан, Алматы (Токмолдин С.Ж.) |
2008 |