web-master


СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНАЯ СИСТЕМА
"КАТУНЬ-35" ДЛЯ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ

     Сверхвысоковакуумная система "КАТУНЬ-35" разработана специально для выращивания гетероструктур на основе соединений А3В5.

      В комплекте с системой или отдельно изготавливаются и могут поставляться:
- тигли из пиролитического нитрида бора различных размеров, обработанные по оригинальной методике в соответствии с требованиями эпитаксиальной технологии;
- тигельные, вентильные и электронно-лучевые источники молекулярных пучков;
- электронные дифрактометры (ускоряющее напряжение до 30 кВ);
- системы для регистрации дифракционных картин и анализа их интенсивности с программным обеспечением;
- лазерные эллипсометры для измерения оптических параметров и толщины тонкопленочных структур в процессе их получения;
- оптические пирометры;
- блоки питания и управления технологическими процессами с программным обеспечением.



Автоматизированная система
типа "Катунь-35", созданная в Институте Физики Полупроводников СО РАН
для выращивания полупроводниковых пленок на основе соединений A3B5

      Технико-экономические преимущества

  • новизна и оригинальность технологических решений;
  • рабочие характеристики мирового уровня при низкой себестоимости;
  • отсутствие магнитных манипуляторов;
  • автоматизированная система управления технологическим процессом с блоками питания и терморегулирования на основе импортных комплектующих с оригинальным программным обеспечением;
  • удобство как для лабораторного, так и для промышленного использования.

      Области применения

      Производство материалов и многослойных эпитаксиальных структур для элементной базы микро- нано- и оптоэлектроники (СВЧ-приборы, фотоприемные устройства, навигационное оборудование, лазерные системы, телекоммуникации, спутниковое телевидение и т.д).

      Патентная защита

      Патенты, авторские свидетельства, ноу-хау.

      Стоимость продукции зависит от комплектации

Адрес: ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ СО РАН
630090, Новосибирск, пр.Лаврентьева, 13,
тел./факс (383) 333-35-02, тел. 333-32-86,
е-mail: pch@isp.nsc.ru