СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНАЯ СИСТЕМА "КАТУНЬ-35"
ДЛЯ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ
Сверхвысоковакуумная система "КАТУНЬ-35" разработана специально для выращивания гетероструктур на основе
соединений А3В5.
В комплекте с системой или отдельно изготавливаются и могут поставляться:
- тигли из пиролитического нитрида бора различных размеров, обработанные по оригинальной методике в соответствии с требованиями эпитаксиальной технологии;
- тигельные, вентильные и электронно-лучевые источники молекулярных пучков;
- электронные дифрактометры (ускоряющее напряжение до 30 кВ);
- системы для регистрации дифракционных картин и анализа их интенсивности с программным обеспечением;
- лазерные эллипсометры для измерения оптических параметров и толщины тонкопленочных структур в процессе их получения;
- оптические пирометры;
- блоки питания и управления технологическими процессами с программным обеспечением.
Автоматизированная система типа "Катунь-35",
созданная в Институте Физики Полупроводников СО РАН для выращивания
полупроводниковых пленок на основе соединений A3B5
Технико-экономические преимущества
- новизна и оригинальность технологических решений;
- рабочие характеристики мирового уровня при низкой себестоимости;
- отсутствие магнитных манипуляторов;
- автоматизированная система управления технологическим процессом с блоками
питания и терморегулирования на основе импортных комплектующих с оригинальным программным обеспечением;
- удобство как для лабораторного, так и для промышленного использования.
Области применения
Производство материалов и многослойных эпитаксиальных структур для элементной базы микро- нано- и оптоэлектроники
(СВЧ-приборы, фотоприемные устройства, навигационное оборудование, лазерные системы, телекоммуникации, спутниковое телевидение и т.д).
Патентная защита
Патенты, авторские свидетельства, ноу-хау.
Стоимость продукции зависит от комплектации
Адрес:
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ СО РАН
630090, Новосибирск, пр.Лаврентьева, 13,
тел./факс (383) 333-35-02, тел. 333-32-86,
е-mail: pch@isp.nsc.ru
|