Во вторник, 20.05.2025 в 10-00
в конференц-зале Административного корпуса состоится Институтский семинар
Докладчик: Щеглов Дмитрий Владимирович
«АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ НАНОТЕХНОЛОГИЯХ: МЕТРОЛОГИЯ, ДИАГНОСТИКА И ЛИТОГРАФИЯ»
Диссертация на соискание ученой степени доктора физ.-мат. наук по специальности 1.3.8 – физика конденсированного состояния.
Научный консультант: академик РАН, д.ф.-м.н. А.В. Латышев
Рецензент: д.ф.-м.н. А.И. Никифоров
Ведущий семинара: д.ф.-м.н. В.Л. Альперович