А.Б. Талочкин, И.Б. Чистохин
Лаборатория физики и технологии структур на основе полупроводников А3В5
Лаборатория технологии кремниевой микроэлектроники.
Исследованы спектры продольной фотопроводимости многослойных Ge/Si
структур с квантовыми точками (КТ) Ge, полученные методом молекулярно-
 | Рис. 1 Схема многослойной Si/Ge
структуры с КТ Ge для измерения
спектров продольной ФП.
|
лучевой эпитаксии. Наблюдался фотоотклик в диапазоне энергий 0.3÷1.1 эВ при
T=78K, связанный с оптическими переходами между дырочными уровнями КТ и
электронными состояниями Si. Показано, что основной вклад в латеральную
фотопроводимость дают электронные состояния, локализованные в области изгиба
зон Si вблизи Ge/Si границы раздела. Применение модели квантового ящика для
 | Рис.2. Спектральная зависимость
продольной фотопроводимости Si/Ge
структуры с КТ Ge. Малыми
стрелками обозначены наблюдаемые
положения пиков. Большими
стрелкам и показаны энергии
оптических переходов, вычисленные в
модели "квантового ящика". На
вставках показаны энергетические
диаграммы Si/Ge структур с КТ Ge
двух образц ов. Штриховыми и
точечными линиями показаны
положения дырочных уровней КТ.
|
описания дырочных уровней КТ позволило понять происхождение пиков, наблюдаемых в спектрах фотопроводимости. Построена подробная энергетическая диаграмма дырочных уровней КТ и оптических переходов в Ge/Si структурах с напряженными КТ Ge.