В.А.Володин, Е.Б.Горохов, Д.В.Марин, М.Д.Ефремов, А.Г.Черков, С.А.Аржанникова, В.А.Швец, А.Г.Борисов
Лаборатория радиационной стойкости полупроводников и полупроводниковых приборов.
Лаборатория электронной микроскопии и субмикронных структур.
Лаборатория эллипсометрии полупроводниковых материалов и структур