За 1998 – 2008 гг. на опытной линейке ИФП изготовлено более 5 тыс. КНИ пластин диаметром 100 и 150 мм для приборов микро- и наноэлектроники. Оборудование выработало ресурс. Его стоимость для новой линии (200 мм, 5 тыс. шт./год) - до 300 млн. руб; (300 мм, 30 тыс. шт./год) – до 500 млн. руб. Стоимость чистых помещений - 200 млн.руб.