СОТРУДНИКИ
|
Кулубаева Эльза Гайнулаевна аспирант |
Тема работы: “Транспорт носителей заряда в наноразмерных слоях кремния на изоляторе”
СОТРУДНИКИ
|
Сухих Сергей Александрович ведущий инженер-технолог участок ионного легирования (микротоковый источник ионов HVEE-400) тел. 330-67-68, вн. 1213 121, 347 ТК e-mail: |
СОТРУДНИКИ
|
Попова Валентина Петровна инженер-технолог участок термической диффузии и термического окисления кремния тел. 330-67-68, вн. 1286 306 ТК |
СОТРУДНИКИ
|
Таланина Татьяна Филипповна инженер-технолог участок фотолитографии тел. 330-67-68, вн. 1262 303, 309 ТК |
СОТРУДНИКИ
|
Геталова Валентина Никитична ведущий инженер-технолог участок фотолитографии тел. 330-67-68, вн. 1262 303, 309 ТК |