Генератор изображения лазерный многоканальный ЭМ-5189-01 предназначен для непосредственного формирования топологических структур на полупроводниковых пластинах и изготовления промежуточных шаблонов при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники. Изображение формируется по принципу растрового сканирования. В системе экспонирования используется непрерывный ультрафиолетовый аргоновый (криптоновый) ионный лазер с длиной волны 350,7 нм. Мощность лазера 300 мВт. Модель SP-2060 (SP-2060/65) фирмы Spectra Phisics.
 |  |
Генератор изображения лазерный многоканальный ЭМ-5189-01 («КБТЭМ-ОМО», Республика Беларусь, г. Минск)
- Производительность при изготовлении топологии 150 мм2/мин
- Размер рабочего поля 215х215 мм2
- Минимальный формируемый размер 600 нм
- Равномерность(однородность) критического размера ±40 нм
- Погрешность стыковок полос ±40 нм
- Неровность края топологического элемента ±40 нм
- Погрешность совмещения ±70 нм
Специалисты: | вед. инж.-техн. Сандырев В.К. (ТК к. 109, 351 тел. 330-78-86) вед. инж.-прогр. Грачёв К.В. (ТК к. 351 тел. 330-78-86) инж.-техн. Качанова М.М. (ТК к. 325) инж.-техн. Живодкова Т.А. (ТК к. 321) инж.-техн. Шевченко Г.Н. (ТК к. 321) |