- С.В. Рыхлицкий, С.А. Дулин, В.Ю. Прокопьев, Е.К. Иванов, Н.А. Аульченко, Н.И. Назаров. Спектральный рефлектометрический комплекс КРС-2. Приборы и техника эксперимента, 2011, № 5, стр. 1-2.
- Е.В. Спесивцев, С.В. Рыхлицкий, Н.А. Аульченко, В.Ю. Прокопьев. Матричный эллипсометрический комплекс МЭК-2. Приборы и техника эксперимента, 2011, № 5, стр. 1-2.
- С.В. Рыхлицкий, Е.В. Спесивцев, В.А. Швец, А.Г. Борисов. Быстродействующий in-situ эллипсометр. Приборы и техника эксперимента, 2011, № 6, стр. 1-2.
- В.А. Швец. Эллипсометрия движущихся объектов. Автометрия, 2011, т. 47, № 2, стр. 79-87.
- Е.В. Спесивцев, С.В. Рыхлицкий, В.А. Швец. Развитие методов и средств оптической эллипсометрии в Институте физики полупроводников. Автометрия, 2011, т. 47, № 5, стр. 5-12.
- В.А. Швец, Н.Н. Михайлов, С.А. Дворецкий. Выращивание гетероструктур HgCdTe при эллипсометрическом контроле in situ. Автометрия, 2011, т. 47, № 5, стр. 13-24.
- Власов В.В., Синяков А.Н., Пышный Д.В., Рыхлицкий С.В., Кручинин В.Н., Спесивцев Е.В., Пышная И.А., Костина Е.В., Дмитриенко Е.Д., Бессмельцев В.П. Эллипсометрический мониторинг в микрочиповых label-free биотехнологиях. Автометрия, Т. 45, № 5, 2011, стр. 67-76.
- Антонов В.А., Спесивцев Е.В., Тысченко И.Е. Анодное окисление нанометровых слоев Si в структурах кремний на изоляторе. ФТП, 2011.
- С.В. Рыхлицкий, Е.В. Спесивцев, В.А. Швец, В.Ю. Прокопьев. Спектральный эллипсометрический комплекс ЭЛЛИПС-1891-САГ. Приборы и техника эксперимента № 1, 2012, стр. 1-2. (принято в печать).
- С.В. Рыхлицкий, В.А. Швец, Е.В. Спесивцев, В.Ю. Прокопьев, С.Г. Овчинников, В.Н. Заблуда, Н.Н. Косырев, С.Н. Варнаков, Д.В. Швецов. Измерительно-ростовой комплекс для синтеза и исследования in-situ материалов спинтроники. Приборы и техника эксперимента, № 1, 2012, стр. 1-2. (принято в печать).
- В.А. Швец, С.В. Рыхлицкий, Е.В. Спесивцев, В.Ю. Прокопьев. Быстродействующий вакуумно-эллипсометрический комплекс. Приборы и техника эксперимента, № 1, 2012, стр. 1-2.(принято в печать).
- V.V. Atuchin, A.V. Kalinkin, V.A. Kochubey, V.N. Kruchinin, R.S. Vemuri, C.V. Ramana. Spectroscopic ellipsometry and X-ray photoelectron spectroscopy of La2O3 thin films deposited by reactive magnetron sputtering. Journal of Vacuum Science and Technology v. A 29, № 2, 2011, p. 021004.
- C.V. Ramana, V.H. Mudavakkat, K. Kamala Bharathi, V.V. Atuchin, L.D. Pokrovsky, V.N. Kruchinin, Enchanced optical constants of nanocrystalline yttrium oxide thin films. Applied Physics Letters. 2011, v. 98, №3, p. 031905-031911.
- V.V. Atuchin, V.A. Golyashov, K.A. Kokh, I.V. Korolkov, A.S. Kozhukhov, V.N. Kruchinin, S.V. Makarenko, L.D. Pokrovsky, I.P. Prosvirin, K.N. Romanyuk, O.E. Tereshchenko. Formation of inert Bi2Se3(0001) cleaved surface. Crystal Growth & Design, 2011, (in Press)
- М.И. Воевода, С.Е. Пельтек, М.В. Кручинина, С.А. Курилович, В.Н. Кручинин, С.В. Рыхлицкий, К.П. Могильников. Применение эллипсометрии для исследований биоорганических сред. Автометрия, 2011, т. 47, № 5, стр.114-121.
![]() |
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИМ. А.В. РЖАНОВА
Сибирского отделения Российской академии наук
|