Патенты

ПАТЕНТЫ

  1. Рыхлицкий С.В., Журавлев П.В., Корсаков Ю.М. «Устройство для измерения спектрального коэффициента яркости земной поверхности». Авторское свидетельство СССР № 1289183, БИПМ № 13 - 2011.

  2. Алгазин Ю.Б., Рыхлицкий С.В. «Эллипсометр». Авторское свидетельство СССР № 448831, БИПМ № 13 - 2011.

  3. Чикичев С.И., Рыхлицкий С.В., Прокопьев В.Ю. «Эллипсометр», Патент РФ № 2384835, БИПМ № 8 - 2010.

  4. Рыхлицкий С.В., Швец В.А., Прокопьев В.Ю., Спесивцев Е.В. «Эллипсометрический комплекс для высокотемпературных исследований», Патент РФ № 2353919, БИПМ № 12 - 2009.

  5. Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Борисов А.Г., Швец В.А. «Эллипсометр», Патент РФ № 2351917, БИПМ № 10 - 2009.

  6. Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Швец В.А. «Эллипсометр», Патент РФ № 2302623, БИПМ № 19 - 2007.

  7. Рыхлицкий С.В., Селезнев А.Н., Хасанов Т. «Фазосдвигающее устройство», Патент РФ № 2289831, БИПМ № 35 - 2006.

  8. Дулин С.А., Рыхлицкий С.В., «Спектральный эллипсометр», Патент РФ № 2247969, БИПМ № 7 - 2005.

  9. Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В. «Эллипсометр». Свидетельство на полезную модель РФ № 16314, БИПМ № 35 – 2001.

  10. Дворецкий С.А., Дулин С.А., Михайлов Н.Н., Рыхлицкий С.В., Сидоров Ю.Г. «Способ бесконтактного измерения температуры», Патент РФ № 2149366, БИПМ № 14 - 2000.

  11. Рыхлицкий С.В., Соколов В.К., Федоринин В.Р. «Спектроэллипсометр» Патент РФ № 1495648, БИПМ № 11 - 1997.