ЗАЩИЩЁННЫЕ ДИССЕРТАЦИИ

соискателями учёной степени кандидата наук:

2001

Спесивцев Евгений Васильевич
Исследование и разработка лазерных сканирующих эллипсометров высокого пространственного разрешения
Научный руководитель - к.т.н. Рыхлицкий Сергей Владимирович

1988

Рыхлицкий Сергей Владимирович
Исследование и разработка автоматических прецизионных эллипсометров
Научный руководитель - к.ф.-м.н. Соколов Вадим Карлович

1987

Кручинин Владимир Николаевич
Адсорбционные стадии в реакциях образования слоев диоксида кремния
Научный руководитель - д.х.н. Репинский Сергей Маркович

1980

Мардежов Анатолий Селиверстович
Исследования неоднородных полупроводниковых структур методом эллипсометрии
Научный руководитель - д.ф.- м.н. Свиташев Константин Константинович

1979

Назаров Николай Иванович
Вопросы схемотехнического проектирования и исследования интегральных схем
Научный руководитель - д.ф. – м.н. Завьялов Юрий Семёнович

соискателями учёной степени доктора наук:

2012

Швец Василий Александрович
Эллипсометрия процессов молекулярно-лучевой эпитаксии Cd1-xHg xTe
Научный консультант - д.ф.- м.н. Пчеляков Олег Петрович