В.В.Васильев, В.Н.Овсюк, А.Л.Асеев
Лаборатория кинетических явлений в полупроводниках.
Лаборатория физико-технологических основ создания приборов на основе полупроводников А2В6.
Впервые в России изготовлен экспериментальный образец линейчатого фотоприемного модуля (ЛФПМ) с форматом 4×288. В каждом из 288 каналов происходит суммирование сигнала по четырем элементам. За счет этого удельная обнаружительная способность ЛФПМ возрастает в N1/2, где N = 4 (число элементов в канале), т.е. в 2раза. Кремниевый мультиплексор позволяет производить поиск дефектных элементов модуля в целом и отключать элементы с повышенным (не сигнальным) током, что позволяет увеличить количество функционирующих каналов. Фотоприемная линейка 4×288, изготовленная на основе гетероэптаксиалього слоя КРТ, выращенного методом молекулярно-лучевой эпитаксии, с помощью групповой холодной сварки на индиевых столбах соединена с кремниевым мультиплексором. На рисунке приведена фотография ЛФПМ. Засветка осуществляется через прозрачную в ИК-области спектра подложку из арсенида галлия. Средняя величина температурного разрешения достигает величины 13,9 мК. Количество работающих каналов - 100%.
 |  |
Линейчатый фотоприемный модуль 4×288 для ИК-диапазона 8-12 мкм. Размер кремниевого кристалла 9,0×5,8 мм. |
Гистограмма температурной чувствительности (NEDT) фотоприемного модуля 4×288 |
Основные параметры модуля приведены в таблице
Длинноволновая граница чувствительности, мкм | 10,3 |
Размерность | линейка 4×288
ВЗН
|
Размер фоточувствительного элемента , мкм | 56×43 |
Шаг размещения элементов, мкм | 56×43 |
Рабочая температура , К | 78-82 |
Время интегрирования , мкс | 14×4 |
Эквивалентная шуму разность температур (Тфона=295К, 2θ=320), мК | 13,9 |
Обнаружительная способность (Тачт =500К, Тфона=295К, 2θ=320), см Гц0.5/Вт | 1,4×1011 | Количество дефектных элементов, % | 0 |
Размеры фотоприемного модуля, не более, мм | 9,0×5,8×1,5 |
|