Разработан метод получения микропористого кремния, в котором поры превращены в микроканалы, расположенные в матричном порядке.

Рис. 8. Оптические изображения микроканального кремния сверху и сбоку

Микроканалы имеют сечение в виде квадрата со стенками по плоскостям {110}. Ширина микроканалов изменяется в пределах 5 - 8 мкм, а длина - варьируется от долей микрона до сотен микрон. Толщина стенки между микроканалами составляет величину 1 - 4 мкм. Удельная поверхность микроканального кремния имеет значения ~ 1 м² / г или ~ 0.4 м² / см³. Микроканальный кремний может занимать как поверхностную область пластины (см. рисунок 5), так и всю пластину целиком, образуя мембрану.