| ФИО | Щеглов Дмитрий Владимирович |
| Тема | Атомно-силовая микроскопия для задач субангстремной диагностики и модификации поверхности полупроводников |
| Описание | Диссертация представлена на соискание ученой степени доктора физико-математических наук по специальности 1.3.8 – физика конденсированного состояния |
| Автореферат | |
|
Текст диссертации
(размещён 30.12.2025) |
|
| Научный консультант | директор ИФП СО РАН академик РАН, д.ф.-м.н. Латышев А.В. |
| Оппоненты |
|
| Ведущая организация | |
| Заключение комиссии | |
| Решение о приёме диссертации к защите |
|
| Объявление о защите диссертации |
|
| Отзывы на автореферат | |
| Итоги защиты | |