ОБОРУДОВАНИЕ
 |
 |
| 1. Участок химической обработки пластин | 2. Установка плазмохимического нанесения и травления диэлектрических слоёв “PLASMALAB -100” |
 |
 |
| 3. Установка магнетронного напыления металлов «Оратория–5» | 4. Установка ЭМ-576А для операций фотолитографического совмещения и экспонирования |
 |
 |
| 5. Установка ионно-лучевого нанесения слоев окисла ванадия | 6. Установка плазмохимической обработки кремниевых пластин |
 |
 |
| 7. Установка вакуумного отжига | 8. Откачной пост |
 |
 |
| 9. Установка контроля герметизации | 10. Зонд разбраковки и контроля мультиплексоров |
 |
 |
| 11. Установка совмещения кристаллов, предварительный контроль | 12. Установка гибридной микросборки кристаллов |
 |
 |
| 13. Установка ультразвуковой сварки контактов | 14. Стенд измерения параметров фотоприёмных модулей |
 |
|
| 15. Готовое микроболометрическое фотоприёмное устройство |