на базе лаборатории физических основ материаловедения кремния
| Административный корпус | 3 апреля 2019 г. |
| Конференц-зал | Среда, 10 часов |
Резванов Аскар Анварович
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники» (АО «НИИМЭ»)
ВЛИЯНИЕ ПРОЦЕССА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ НА МОЛЕКУЛЯРНУЮ СТРУКТУРУ И ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СВОЙСТВА ДИЭЛЕКТРИКОВ С УЛЬТРАНИЗКОЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТЬЮ
Диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук
по специальности 05.27.01 – Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Рецензент – доктор физико-математических наук Якушев Максим Витальевич